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CVD滑轨式管式炉 CVD滑轨式管式炉 CVD滑轨式管式炉 CVD滑轨式管式炉

CVD滑轨式管式炉

[滑轨式管式炉

CVD管式炉

多温区管式炉

1700度管式炉]

合肥市滑轨式管式炉厂家

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物流: 安徽 合肥市 肥西县| 卖家支付运费

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[滑轨式管式炉 CVD管式炉 多温区管式炉 1700度管式炉]

CVD滑轨式管式炉
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详细信息(CVD滑轨式管式炉)
  • 品牌: 其他
  • 型号: FGL(RTP)-40/11/1
  • 加工定制:
  • 最大电压: 220V
  • 功率: 3.0KW
  • 额定温度: 1100℃
  • 主要用途: RTP工艺及CVD石墨烯工艺

FGLRTP系列滑轨式管式炉(T max 1100)

   滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求,通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度,然后移动到样品处,达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

特点

1、  工作温度RT1000℃。

2、  智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序。

3、  采用陶瓷纤维FEC加热模块,电阻丝内嵌式环绕加热。

4、  炉壳结构,双层炉壳风冷结构。

5、  不锈钢双层密封法兰,进、出气美标针阀。

6、  两端可调节式法兰支撑结构,延长石英管的使用寿命。

7、  超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电。

8、  *保护当炉体漏电时自动断电。

 

额外选配      炉内测量系统(氧含量检测系统、温度检测系统);

真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);

气氛系统(浮子流量计、质量流量计);

监控系统:(温度记录仪、触摸屏远程监控);

              注:选件需配置拓展柜体;

技术参数

 

设备型号

使用温度

管径

加热区

温区数

热电偶类型

电压

功率

FGL(RTP)-40/11/1

1100

40mm

320 mm

1

K

220V

 

 

3.0KW

FGL(RTP)-50/11/1

1100

50mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-60/11/1

1100

60mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-70/11/1

1100

70mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-80/11/1

1100

80mm

320 mm

1

K

220V

注:给出的使用温度为工作管外测定,其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。

 

标签: 滑轨式管 CVD管 多温区管 1700   滑轨式管式炉 CVD管式炉 多温区管式炉 1700度管式炉   合肥市滑轨式管式炉   合肥市滑轨式管式炉厂家
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