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cvd化学气相沉积

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郑州市化学气相沉积厂家

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详细信息(cvd化学气相沉积)
高温炉壳体 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃,内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 
功率 2.5 KW
电压 AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 
加热元件 掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其*程度延长使用寿命)
*工作温度 1200℃
连续工作温度 1100℃
最快升温速率 <= 20 ℃
炉管材质和尺寸 石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 
加热区长度 400 mm
恒温区长度 150  (+/-1 ℃)
控温系统 PID30段程序化控温
控温精度 +/- 1 ℃
真空密封系统 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),*漏气率6 mtorr/min
真空泵 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。
数字式真空显示计   进口CVM-211数显真空计,已安装在不锈钢法兰上,测量范围为10-4Torr~1000Torr  
混气系统 三个浮子流量计(准确率4%FS)
三路浮子量程分别为
10-100 cc/min.
16-160 cc/min.
25-250 cc/min
内部安装有一混气罐 
尺寸 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm
混气系统尺寸: 600x600x597 mm
净重 60kg

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