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推荐采购信息
详细信息(重庆市涡轮分子泵厂家)
品牌:爱德华 型号:STP-iX455/STP-iXR1606 材质:铸钢
驱动方式:电磁 用途:真空泵机组 原理:真空泵
功率:100W 极限压力:0.0001(pa) 规格:原装进口

概述

STP-iX455 涡轮分子泵具有创新性磁力轴承和电机驱动系统,与上一代涡轮泵相比将振动降低了 50%。采用集成的控制器,不需要使用传统的安装于机架上的控制器及互连电缆,不需要水冷却。
此泵的氮气抽速为 450 ls-1。STP-iX455 极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。

 

应用

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(物、氟化物和物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送端点站
  • MBE
  • 扩散
  • 光致抗蚀剂脱模
  • 晶体/晶膜生长
  • 晶片检查
  • 负载锁真空腔
  • 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
  • 高能物理:射束线、加速器

技术数据

入口法兰 ISO100K
抽速  
N2 300 ls-1
H2 300 ls-1
压缩比  
N2 >108
H2 >1 x 104
极限压力 6.5 x 10-6Pa
最大工作压力 1.3 x 10-1Pa
允许的前级压力 67 Pa
额定速度 55000 rpm
启动时间 <6 分钟
固定位置 任何方向
冷却方法 自然冷却(加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却)
润滑油 不需要
前级泵 240 lmin-1
泄露磁通量  
轴向方向 <100 m/Gauss
径向方向 <100 m/Gauss
环境温度范围 0 至 40 °C
存储温度范围 -25 至 55 °C
重量 15 kg
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