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系列单晶炉修理、改造:

    产品用途 该系列单晶炉是采用直拉法生长单晶硅材料的专用设备。 主要技术参数 VDR1500单晶炉系列 电源: 3相,380 V±10%,50HZ 环境温度:15~30℃ 环境湿度:≦65% 加热器最大加热功率:150~200 KVA 加热器最高加热电压:60 V 冷炉极限真空度:3 Pa 晶体直径:Φ8"/φ 10" 熔料量: 150 Kg 主炉室尺寸:Φ1000×1400 mm 隔离阀通径:Φ350 mm 副炉室尺寸:Φ350×2300 mm 籽晶拉速范围:0.2~8 mm/min 籽晶快速范围:≥300 mm/min 籽晶转速范围:2~40 R/min 坩埚升速范围:0.02~1.0 mm/min 坩埚快速范围:≥100 mm/min 坩埚转速范围:0.2~15 R/min 籽晶提升有效行程:3100 mm 坩埚升降有效行程:450 mm 主机占地面积: 2400×2000 mm 主机最大高度:7200 mm

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