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真空计量要满足在真空应用中量大面广的实际需要,解决其真空测量和校准问题,可以为真空应用提供计量服务和技术保障。正是真空应用对真空计量不断增长的需要和越来越高的要求,促进了真空计量学的发展,使真空计量的研究领域不断扩充,量程不断延伸,精度不断提高。真空计量已成为计量学一个新的独立分支,在国际上得到了承认。 真空计量中三个基本物理量是真空度(全压力p和分压力pi)、气体微流量(Q)和抽速(S)。真空计量的主要研究内容为:(1)真空度(全压力)的测量与校准;(2)真空质谱分析、分压力的测量与校准;(3)气体微流量(或漏率)的测量与校准;(4)真空泵的抽速测量。 真空计量学是有关真空测量和校准的知识领域,包括理论和实践的各个方面。在计量学中,计量标准不是一台台孤立的仪器和设备,而是一个个完整的、统一的、有机的体系。建立计量标准,要求不同区域(或不同实验室)相同类型(或不同类型)的计量标准之间以相互标准作为基础。 在国际上,许多国家建立了真空计量中心,建立了真空计量标准,形成了真空量值传递系统。真空计量标准的国际化比对,是真空计量学发展的重要阶段,是真空量值统一的中心工作。*化组织(ISO)设立的真空科学技术委员会(TC)颁布了一系列有关真空计量方面的*和国家标准文件,促进了在国际范围内真空量值的统一。
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