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真空镀膜机械 多功能表面处理设备真空离子蒸发镀膜机/磁控溅射镀膜机

表面处理设备

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详细信息(佛山市真空镀膜机械厂家)
  • 加工定制:
  • 品牌: -
  • 电镀位置: -
  • 镀种: 真空镀膜
  • 型号: -
  • 适用范围: -
  • 产品别名: -
  • 电镀电源: 双脉冲电源
  • 规格: -
  • 咨询电话: 15398947271

真空镀膜机械多功能表面处理设备真空离子蒸发镀膜机/磁控溅射镀膜机


真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
使用控柜操作
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和
高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。


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