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由于即除尘又除静电的设备品种较多,如何选择适合自己的产品主要根据生产线上的状况来决定。以下介绍几种即除尘又除静电的设备:
1、离子风*:它的特点是手持式的,操作方式很随意,它比较适合用在检验部位,检验者看到那里有灰尘只要拿起风*吹一下就可以了。
2、离子风嘴:它是固定式的产品,体积小,不占地方,它比较适合流水线上或部分空间狭小的工位。也可以做成脚踏式和感应式。
半导体行业静电技术应用
在半导体器件生产车间,什么是静电喷涂机,由于尘埃吸附在芯片上,尤其是超大规模集成电路的成品率会大大下降。生产车间操作人员都穿洁净工作服,若人体带静电,静电喷涂机,则极易吸附尘埃、污物等,若这些尘埃、污物被带到操作现场的话,将影响产品质量,恶化产品性能、大大降低成品率。如果吸附的灰尘粒子的半径大于线条宽度约时,薄膜厚度在下时,则最易使产品报废。