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真空蒸镀膜单元,真空,镀膜单元

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肇庆市转飞溅镀膜单元厂家

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真空镀膜设备中泵的使用、原理简介、存在问题、及解决方法:

增压泵又叫罗茨泵:它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵,由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同,成机真空镀膜单元,所以又可以叫罗茨真空泵,此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度,立转飞溅镀膜单元,它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点,真空蒸镀膜单元,此泵不能从大气开始工作,也不能直接排出大气,它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差,其余的则需要机械泵来完成,因此,它必须配以机械泵作为前级泵

 


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故障-- 真空镀膜机真空抽不上去: 抽空时间相同,而真空度偏低,这时候关闭主阀,如真空计指针很快下降,镀膜单元,多数情况是真空室漏,应先查出漏点。如真空计指针下降很慢,多数情况是真空机组抽气能力不够,重点查找真空泵及阀门看哪里出现泄漏,或是扩散泵油污染或氧化;或前级管路密封不好,泵油不足;或泵油乳化,轴封漏油等


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